“奇迹。”
确定了安全码后,付道斌才说道:“骆垚,我想问问你提的要求是想要拆一台光刻机?”
“嗯对,想拆来看看。”
“你现在是想要研究光刻机?”保镖每天都把骆垚看的书的名字发给了他,久而久之他也猜到了对方的想法。
“是的,我现在可能已经知道了制造光刻机的方法。”
“什么?!”付道斌知道从这里开始就不适合在电话里面说了,就和骆垚约到了第二天,去东城见面谈。
第二天,骆垚来到饶慧灵的办公室跟对方请假。
“你要跟科创中心的付主任见面,为什么?”饶慧灵有些好奇,骆垚和付道斌就见过一次面,现在是什么原因又要见面了?
“我想申请一台光刻机,拆开来看看。”
噗——
正在喝水的饶慧灵吐了出来。
她现在已经顾不得骆垚看见了她生平以来最狼狈的样子,饶慧灵脱口就说:“你来真的?”
“真的,我本来想的是,找公司帮忙,但公司的光刻机就只有两台,所以我找了付主任。”
你人还怪好的嘞!
还知道为公司着想,没有祸害公司。
不过这说到底,确实也太离谱了。
什么人敢说把光刻机拆了啊!
“为什么要去拆光刻机?”
“因为我们需要光刻机。”
饶慧灵沉默了,骆垚指的是什么她当然清楚,谁也不会知道,斯喀戎商务组的人会不会急眼了,禁了华国的光刻机。
他们自己能够造出来,当然是好事。
“我以为这段时间你是在研究EDA的事情,没想到你在研究光刻机?”
骆垚奇怪了看了她一眼:“EDA有你们在不就可以搞定了吗?这个时候我没有什么事当然是去研究其他的了。”
说得好有道理,竟然无法反驳。
饶慧灵心想这事非同小可,要拆别人的光刻机,相当于要做好浪费八九个亿的准备,于是她说:“骆垚,你和付主任见面的时,能不能让我们这里的光刻机专家参与一下。”
骆垚想了想,问:“他了解光刻机吗?”
“当然理解,他是专家啊!”
“可是我看到很多人说,专家其实也不怎么靠谱?”
饶慧灵忙道:“我们的专家都是真材实料的,和外面的专家不一样!”
“那他造出了光刻机吗?”骆垚很感兴趣。
“造过,但是失败了。”
“光刻机没有那么好造,不过他有经验,你有问题可以请教他。”
骆垚想了想,点头说:“失败的经验也是经验,那可以。”
你小子懂什么?
失败还是成功他妈呢!
有失败的经验吸取算不错了,有些国家都不敢尝试去制造光刻机,至少他们去尝试了!
饶慧灵觉得自己和骆垚多待一会儿,得心肌梗塞的几率就越大,就让他先去忙,她去联系专家。
骆垚今天和付道斌见面的事,饶慧灵肯定是要通知总裁办的人。
总裁办的人看到饶慧灵所发的消息后,都发出了“???”。
【正梦容:慧灵,你让骆垚悠着点,不赔钱的话他可以做,如果要赔钱的话,就先缓一缓,最近我们支出比较多。】
【路高:这小子,真是每次都出其不意啊!】
【正厚非:按照梦容说的做,拆光刻机也太大胆了!他幸好不拆我们的!】
【饶慧灵:他认为我们只有两台,估计不会让他拆,所以就想到了科创中心那儿!】
【正厚非:哈哈哈这孩子,还挺护我们的啊!】
【路高:正总,你重点错了。】
【正厚非:慧灵,你记得让杨明教授去跟着骆垚,方便的话,你最好也陪同下。】
陪同骆垚去?
饶慧灵瞬间感觉自己老了一岁。
正厚非说的话,饶慧灵不得不听。
她派人去旁边城市把杨明接来之后,付道斌就到了,随他而来的,也是一名光刻机专家。
见面时间安排在了下午的两点。
两点钟一到。
四人都聚在了012实验室大楼的一个小会议室里面。
“骆垚,你是想通过拆解光刻机,来看到里面的构造?”
听到付道斌的话,杨明眼睛都瞪大了。
什么玩意?
拆掉光刻机?
“不行,拆掉光刻机你看清里面的构造有什么用?”饶慧灵没有告诉杨明,盘古EDA就是骆垚开发的,所以杨明看骆垚就觉得对方只是个不靠谱的年轻人。
“拆开看清楚构造之后,就可以验证我的想法是不是正确的。”
听到骆垚一本正经地说着,杨明笑道:“这真是孩子话,难道你现在已经有了想法,知道该如何制造光刻机吗?”
骆垚点头,然后拿出了一张他在家打印出来的图纸。
“这是我设计的光刻机其中的一张设计图,画到这里之后,不知道是不是对的,所以我需要看下真实的光刻机,当然光看外部不行,我需要看内部构造。”
付道斌接过了图纸,拿给了一旁两位专家。
杨明一脸好笑地接过,心想一个年轻人能够设计出来什么光刻机?
如果光刻机真有这么好设计,他就不至于连一台光刻机造都造不出来了。
浪费了国家几亿的研发经费,这是杨明的耻辱。
杨明拿着设计图,勉强看了一眼后,就被图纸上的东西黏住了视线。
“193纳米,这里是光源,这里是液态金属锡,击打两次,把液态金属锡滴打平,第二次……”
杨明嘴里念念有词,他不可思议抬起了头说:“这是光源设计,而且还是EUV的?”
“小同志,这张设计图,你是从哪儿拿来的?!”
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第48章 是不是意味着AS公司的人也太蠢了点?
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“我自己设计的。”
骆垚的眼睛和杨明的眼睛开始对视。
骆垚眼中一丝情绪都没有,杨明看不穿骆垚的想法,但直觉告诉他这事如果真是骆垚干出来的,那可以入选天方夜谭故事集选了。
杨明试探的问道:“小同志,这事情可不能开玩笑,EUV光刻机光源系统这套技术现在连斯喀戎那边都没有掌握,你确定是你自己设计的?”
骆垚早就知道对方有此一问,所以很快地说起了原理:“光刻机一般分两种,一种是DUV,而另一种就是EUV,DUV使用的光源波长是193纳米,而EUV使用的是13.5纳米波长的光源。”
“根据瑞利判据R=D/1.22,可以得出,光学系统能够分辨的尺寸和波长成正比。”
“所以如果要制造更小尺寸的芯片,就需要更短波长的光,也就是EUV的光源。”
“实际上我们都知道EUV的光源使用的还是193纳米的光,但是用它去连续击打两次液态金属锡,就能得到13.5纳米的光。”
“截止到这里都很简单,不过最难的是它的光路系统中的零件,也就是透镜。”
杨明边听边点头。
透镜的成本占到了整个光刻机的40%左右,成本相当高昂。
光刻机的透镜就跟照相机镜头,由不同形状的镜片组成。
如果想更好的理解光刻机,也可以说它是一台大型的照相机。
不同的是,普通的照相机是来拍妹子的,而光刻机则是用来把集成电路图形通过曝光显影的原理,复制到晶圆上。
所以透镜就和照相机镜头一样,主打就是一个贵字。
就是打月亮的神镜头,都要叫光刻机透镜一声爸爸。
光刻机上面现在有二十多块透镜,现在能造出来的只有三家国外工厂,华国这边则还在研发中。
“当初这透镜就难倒了我们,长机那边产的透镜,透光率和光滑程度再怎么做也做不到外国那样,光源在上面反射出来的效果根本没法用。”杨明说到这个事情就觉得伤心。
“70年代我们没有搞半导体真的失去太多了。”杨明感叹道。
骆垚看着杨明那一张满藏遗憾的脸,想了想,决定摊牌了:“透镜的技术难点其实都在这个硬盘里面。”
说着,骆垚将他的红色硬盘拿了出来,放在了会议桌上。
会议室内其他四个人都看着桌上的红色硬盘,默不出声。
顶尖的透镜技术都在红色硬盘里面?
这怎么可能?
就在大家犹豫的时候,饶慧灵坐不住了,她伸手拿过了硬盘。
“我们先来看看再说。”
饶慧灵拿过电脑接入硬盘,开始看了起来,不一会儿她就不可思议地看着屏幕说:“透镜的光学晶体极为特殊,只有高纯稀土卤化物中晶体成品的性能才能符合要求。”
“骆垚,这一条你是怎么得出来的?”
“计算。”
“每一种稀土的晶体影响结果我都进行过计算,最终锁定了高纯稀土卤化物。”
杨明听到听到这里有些激动地说:“确实是高纯稀土卤化物没有错,这个之前我们也计算过。”
“伱们看下,这份文档不光包括了透镜技术还有光刻胶技术、工作台系统、投影物镜系统、掩模台系统、自动校准系统…光刻机所有工程文件基本上都在里面。”
听到饶慧灵这么说,杨明一脸严肃的接过了电脑和旁边的人一起看了起来。
整个文件不仅有技术、原理,甚至还包括了每一个零件的尺寸大小!